微型部件的制作一貫是屬于注射成型手藝的操作規(guī)模，可是，一種“奇怪”的熱成型加工手藝卻能夠生產(chǎn)出高質(zhì)量的微型部件。在第16屆SPE熱成型手藝年會上，人們構(gòu)和了微熱成型工藝，提出了該工藝在微電子機(jī)械市場規(guī)模中的重大操作潛力。人們同時構(gòu)和的手藝還搜羅：“類鉻下場”的TPO部件、可降落成型周期的“四步履工位活塞”，以及可快速更換模具的PD500 Mega 氣缸。
　　微熱成型手藝
　　德國Forschungszentrum Karlsruhe公司的微結(jié)構(gòu)手藝成型工藝研究院是一家大型的、以政府基金為根底的研究機(jī)構(gòu)。該機(jī)構(gòu)的研究職員斥地了測驗測驗室規(guī)模的熱成型工藝，傳說傳聞該工藝可成型尺寸在0.1～1000nm之間（1000nm＝1μm）的微型部件，初度達(dá)到了財產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)的微成型請求。斥地該工藝的方針是為了滿足生命科學(xué)規(guī)模對微型部件的需求，如用于藥學(xué)研究的生化試劑的合成與分化用一次性LOC微射流拆卸。
　　作為一種微觀改良的手藝，這類新的熱成型系統(tǒng)搜羅3個部分：帶有微型型腔的平板模具，一臺用于產(chǎn)生真空馴良壓的帶孔壓板，以及模具與壓板之間的密封步履方法。其工藝過程是：將模具安裝到一臺測驗測驗室用的壓機(jī)上，而后將一片塑料薄膜（20～50μm）嵌入模具中。壓機(jī)閉合后，當(dāng)然在模具與壓板之間的薄膜沒有被壓緊，可是仍然獲得了必定的真空度。隨著模具的完整閉合，薄膜被壓緊，同時也被加熱，當(dāng)薄膜達(dá)到熱變型溫度往后，就會在大略50bar的氣壓浸染輕賤入模具型腔中，這時辰模具已經(jīng)冷卻到20℃，低于材料的熱變型溫度。隨著氣壓的降落，模具翻開，微型部件即被成型出來。